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| ICP-6810-A | ICP-6810-A2 | ||
| 光學系統 | 光學系統 | 中階梯二維分光光學系統，焦距400mm | |
| 譜線范困 | 165nm-950nm | ||
| 光柵規格 | 中階梯光柵，尺寸：100mm× 50mm | ||
| 棱鏡 | 超純SIO2材料 | ||
| 雜散光 | 10000ug/ml的Ca溶液在As189.042nm處的等效背景濃度<2ug/ml | ||
| 溫度控制 | 38+0.1℃，濕度可設置 | ||
| 檢測系統 | 檢測器 | 科研級CCD檢測圖，抗地和溢出 | |
| 像素數量 | 1024x1024.像素面積：24umx 24um | ||
| 工作溫度 | <-40攝氏度，穩定時周<3分鐘 | ||
| 量子化效率 | 無鍍膜，量子化效率可達75%以上 | ||
| RF發生翻 | 輸出功率 | 700W-1600W 流讀1W可調 | |
| 功率穩定性 | ≤0.1% | ||
| 震落頻率 | 27.12MHZ | ||
| 頻率穩定性 | ≤0.01% | ||
| 四配方式 | 自動匹配 | ||
| 電磁場泄露輻射強度 | ＜0.5V/m | ||
| 進樣系統 | 炬管線圈 | 3匝 | |
| 絕管 | 三同心石英矩管：外徑20mm：根據中心通道大小有多種型號可選。 | ||
| 霧化器 | 同心霧化器或平行通道霧化器，外徑6mm可選標準霧化器、高鹽霧化器、氫氧酸霧化器 | ||
| 霧室 | 旋流霧化器，可選配雙簡型霧化室和耐HF霧化室。 | ||
| 蠕動泵 | 4通道12滾輪，轉速連續可調。 | ||
| 氬氣消耗量 | 8L/min~18L/min | ||
| 冷卻氣 | 0.00L/min-20.00L/min,精度0.01L/min | ||
| 輔助氣 | 0.00L/min-2.00L/min,精度0.01L/min | ||
| 載氣 | 0.00L/min-2.00L/min,精度0.01L/min | ||
| 整機指標 | 觀測方式 | 經典的重直觀說方式 | 徑向觀測與軸向觀測設計 |
| 液體含量 | 0.01ppm～幾干ppm | ||
| 固體含量 | 0.001%-70% | ||
| 重復性 | （即短期除定度）相對標準偏差RSD<1% | ||
| 穩定性 | 相對標準偏差RSD<1.5%@2小時 | ||
| 元素檢出限（pg/兒） | 大部分元素1ppb-10ppb | ||
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